简易四探针测试仪SZT-4

简易四探针测试仪SZT-4


SZT-4数字式四探针测试仪,是二量程的电阻测量仪器,配以手持式测试头或座式测试架,可用来测量片状,柱状,或块状,电阻率在0.01~200欧姆/厘范围内的半导体材料。(客户根据不同的要求可以选择不同的量程,最小可以测量0.0001Ω最大可以测量100000Ω,根据电流档定精度)通过对恒流源的调整,可以对某些测量结果进行修整,例如对普通硅材料的测试结果要乘以0.628的探险头修正系数,对硅材料薄层扩散和导电薄膜 “方块电阻“ 的修正系数为4.53等均可通过调正恒流电流加以处理。SZT-4数字式四探针测试仪,体形小巧,操作方便,量程适中,十分适於对重炼回料的分选。

本仪器工作环境条件为:
温  度:18℃―25℃
相对湿度:60%-80%
工作室内应无强电场干扰,不与高频设备共用电源。

二,技术参数

1,测量范围
电 阻 率:0.01-200Ω-cm
方块电阻:0.01-200Ω-口
电 阻:0.01-200.0

2,数字电压表
(1)量 程:200mV单一量程
(2)误 差:读数 ±0.2%±3字
(3)输入电阻:>10MΩ

3,恒流源
(1)电流输出:0~10mA连续可调
(2)量 程:1mA, 10mA
(3)误 差:±0.2%±3字,

4,手持式四探针测试头
(1)探 针 间 距:1mm
(2)探针机械游移率:±1.0%
(3)探 针 材 料:碳化钨,φ0.
(4)压力:最大 2Kg

5,电源:220V±10%:50Hz
功耗:5W

6,外形尺寸:

7,使用方法:取出仪器平放於桌上,将三芯电源线接入仪器的电源插座中,并接通交流电压(220V),再将测试探头的插头插入相应的插座中,按下电源开关使仪器得电,仪器上的数字电压表就有读数显示,如果面板上的二个功能开关全部处於弹出状态,则二个开关旁边的“调整”指示灯和:“1mA”指示灯将被点亮,此时旋转电流调节旋钮电压表读数就会发生有规则的变化,这说明仪器已经可以正常工作。
下一步就可以跟据测试的须要对电流进行调整。电流调整应该将电流开关放在10mA的位置上。

8,电流调整:
(1)半导体(硅)材料的电阻率测试:在10mA电流量程上将电流调到6.28mA,相当于在10mA电流情况下测得的结果,乘以探头修正系数0.628。由於恒流源的调整,1mA和10mA是同步的,在`10mA调准以后1mA量程同样包含有这个修正系数。
(2)半导体(硅)材料薄层扩散,玻璃或塑料的薄导电镀复层的方块电阻 测试:在10mA电流量程上将电流调至4.53mA, 测得结果乘以10,就是方块电阻。
(3)电阻测试:电阻测试不能使用探头,必须换用带有鳄鱼夹子的四线插头“电阻测试线”(选配件)。电流调到10mA,电压表的显示值就是电阻值,不用修正。
(4)在做好测试前的准备工作之后,取下探头保护盖,将探头压在被测工件上,使四根探针和工件保持良好接触,

使用时的注意事项:
(1)保护盖取下后一定要保存好,用毕仍要盖好,以防探针损坏。
(2)仪器操作时,应备戴乾燥手套,操作场地,桌椅均应保持乾燥。
(3)在被测材料外形尺寸允许的情况下,建议使用台式测试架(选购件),可使测试精度和稳定性都会有所提高。
(4)对於被测工件为片状其厚度<3.49毫米时,还应对测试结果进行厚度修正,修正参数见参数表,附录`1A和附录1B 。
(5)附录2,是对片状工件外形(园形,矩形)和测量位置的修正参数表。